【摘 要】
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Silicon-on-insulating multi-layer (SOIM) materials were fabricated by co-implantation of oxygen and nitrogen ions with different energies and doses. The multila
【机 构】
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Ion Beam Laboratory, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy o
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Silicon-on-insulating multi-layer (SOIM) materials were fabricated by co-implantation of oxygen and nitrogen ions with different energies and doses. The multilayer microstructure was investigated by cross-sectional transmission electron microscopy. P-channel metal-oxide-semiconductor (PMOS) transistors and metal-semiconductorinsulator-semiconductor (MSIS) capacitors were produced by these materials.
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