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期刊论文
用电镜测定银簿膜的厚度
用电镜测定银簿膜的厚度
来源 :吉林工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lkekej1314
【摘 要】
:
本文详细讨论了利用电镜测定银薄膜厚度的原理和方法。主要内容有,电子对银散射截面的计算和薄膜厚度与电子束的相对电流密度关系的计标。
【作 者】
:
金太权
【机 构】
:
基础科学系
【出 处】
:
吉林工学院学报
【发表日期】
:
1989年4期
【关键词】
:
电子显微镜
银薄膜
厚度
测量方法
测量原理
electron microscopes determination thin films thickness
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本文详细讨论了利用电镜测定银薄膜厚度的原理和方法。主要内容有,电子对银散射截面的计算和薄膜厚度与电子束的相对电流密度关系的计标。
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