【摘 要】
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根据国内外现有的文献资料，介绍了化学气相沉积ＢＮ的具体制备方法、试验设备及主要原理。
According to the existing literature at home and abroad, introduced the chemical
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根据国内外现有的文献资料，介绍了化学气相沉积ＢＮ的具体制备方法、试验设备及主要原理。
According to the existing literature at home and abroad, introduced the chemical vapor deposition BN specific preparation methods, test equipment and the main principle.
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