【摘 要】
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近年来硅器件制造商很注意超纯去离子水的制备和储存,以及其质量检验。大多数专家相信,如果在净化室(即一般保证制造优质电子元器件条件的房间)内测量时,水的电阻率为
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近年来硅器件制造商很注意超纯去离子水的制备和储存,以及其质量检验。大多数专家相信,如果在净化室(即一般保证制造优质电子元器件条件的房间)内测量时,水的电阻率为
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