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利用等离子体增强脉冲激光沉积系统，在n型Si（100）基底上沉积了不同沉积气压下的纳米BN薄膜，利用红外光谱（FTIR）对BN薄膜进行了表征。通过原子力显微镜（AFM）观察了薄膜的表面形貌。在超高真空（〈5．0×10^-7Pa）情况下测量了薄膜的场致发射特性。实验结果表明，沉积气压对BN薄膜的场发射特性影响很大。BN薄膜的阈值电场随着沉积气压的升高而升高，发射极限电流随着沉积气压的升高而较小，但耐压特性提高。沉积气压为2Pa时沉积的BN薄膜的场发射的阈值电场最低，为12V／um，当电场升高到27