【摘 要】
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氢化非晶硅场效应晶体管的特性对环境因素较为敏感，如光照、温度和湿度等。文中介绍光照和退火引起的氢化非晶硅场效应晶体官场效应特性的变化，并探讨导致这种变化的原因。
Hy
【机 构】
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氢化非晶硅场效应晶体管的特性对环境因素较为敏感，如光照、温度和湿度等。文中介绍光照和退火引起的氢化非晶硅场效应晶体官场效应特性的变化，并探讨导致这种变化的原因。
Hydrogenated amorphous silicon field-effect transistor characteristics of the more sensitive to environmental factors, such as light, temperature and humidity. In this paper, we introduce the changes of the field-effect characteristics of hydrogenated amorphous silicon field-effect crystals induced by light and annealing, and discuss the causes of these changes.
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