【摘 要】
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本文利用特殊设计的石墨舟,作了GaAs开管Zn扩散实验,获得了质量较好的扩散片,取得了一系列实验结果,从而确定出最佳扩散条件.对不同扩散条件下的扩散片进行了SIMS测试,得到了
【机 构】
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河北工学院电气工程系,秦皇岛市煤气公司,
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本文利用特殊设计的石墨舟,作了GaAs开管Zn扩散实验,获得了质量较好的扩散片,取得了一系列实验结果,从而确定出最佳扩散条件.对不同扩散条件下的扩散片进行了SIMS测试,得到了Zn浓度反常分布曲线,提出一种新的扩散模型,对反常分布曲线给予了合理的解释.
In this paper, GaAs open-tube Zn diffusion experiment was made with a specially designed graphite boat, a good quality diffusion sheet was obtained, and a series of experimental results were obtained to determine the optimal diffusion conditions for the diffusion sheet under different diffusion conditions After SIMS test, the anomalous distribution curve of Zn concentration was obtained. A new diffusion model was proposed to give a reasonable explanation of the abnormal distribution curve.
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