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碲锌镉（CdZnTe）是液相外延碲镉汞（HgCdTe）薄膜的最佳衬底材料。获得高喷量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义。针对CdZnTe表面加工技术进行了研究，开发出一种新的化学抛光技术，使得抛光后的CdZnTe表面粗糙度Ra可达0．3nm。
软脆碲锌镉衬底的新型化学抛光技术研究
【摘 要】
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碲锌镉（CdZnTe）是液相外延碲镉汞（HgCdTe）薄膜的最佳衬底材料。获得高喷量的CdZnTe衬底表面对于提升红外探测器的性能有着十分重大的意义。针对CdZnTe表面加工技术进行了研究，开发
【机 构】
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华北光电技术研究所
【出 处】
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激光与红外
【发表日期】
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2018年10期
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