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作为微机械的动力源，超声微电机具有诸多优良性能，一直是微机械研究的热点技术之一。首先，本文类比了几种微机械意义上的微电机，指出了超声微电机的独特优点，提出了研究超声微电机的重大意义。接着，作者运用粗糙度理论，对广义瑞利波理论进行修正，得出超声微电机较精确的转速数学模型。最后，作者指出超声微电机进一步实用化后的广阔应用前景。