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本文提出了压电薄膜微马达的工作原理,介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺,最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。......
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作为微机械的动力源,超声微电机具有诸多优良性能,一直是微机械研究的热点技术之一。首先,本文类比了几种微机械意义上的微电机,指出了......