【摘 要】
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基于ZYGO干涉仪实测干涉图，利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取，并与相移干涉相位测量结果进行比对，对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区域的相位提取误差最大，且决定了全局误差的大小。窗函数对边缘误差改善不明显，优化滤波器设计对边缘误差有一定改善。干涉图延拓能有效减小边缘误差，对于连续光学面检测而言是提高二维FFT法相位提取精度的最佳方法。干涉图载波频率为干涉图空间分辨率的1/1
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室，上海201800中国科学院大学，北京100049
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基于ZYGO干涉仪实测干涉图，利用二维快速傅里叶变换(FFT)法进行相位提取，并与相移干涉相位测量结果进行比对，对影响FFT法相位提取精度的边缘误差、窗函数、滤波器设计、干涉图延拓以及载波条纹数等因素进行了综合分析。结果表明直接二维FFT法干涉图边缘0.05R环形区域的相位提取误差最大，且决定了全局误差的大小。窗函数对边缘误差改善不明显，优化滤波器设计对边缘误差有一定改善。干涉图延拓能有效减小边缘误差，对于连续光学面检测而言是提高二维FFT法相位提取精度的最佳方法。干涉图载波频率为干涉图空间分辨率的1/13~1/3时均能得到较准确的测量结果，相位提取误差峰谷值(PV)可优于λ/20；载波频率越高，细节分辨能力越强。
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