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通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻率。
磁控溅射低温制备高电导高透明氢掺杂薄膜
【摘 要】
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通过分析直流磁控溅射技术低温制备高电导和高透明的氢掺杂AZO薄膜实验,明确了溅射技术对于低温制备AZO薄膜的重要作用。由此可以证明,引入适量氢气,有利于提升AZO薄膜的电阻
【机 构】
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青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司
【出 处】
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中国新技术新产品
【发表日期】
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2019年5期
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