【摘 要】
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针对高端阀门内径20mm导向套内壁DLC处理,采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规
【机 构】
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吴忠仪表有限责任公司,宁夏吴忠,751100哈尔滨工业大学 先进焊接与连接国家重点实验室,哈尔滨,150001;
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针对高端阀门内径20mm导向套内壁DLC处理,采用高频高压脉冲电源,分别研究了氩气和混合气气氛下脉冲电压、脉宽、频率以及工作气压等参数对管内空心阴极放电伏安特性的影响规律.结果 表明:轴向对齐的五个小管内均实现了空心阴极放电,氩气条件下放电电流表现出明显空心阴极放电特征,而混合气条件下电流幅值较为平整.脉冲电压或气压的提高有利于提高放电电流,而脉冲频率的增加会使得峰值电流略有下降,脉宽的增加使得单纯氩气条件下电流峰值逐渐增加,而对于混合其他条件下的峰值电流影响不大,仅使平均电流增加.固定气压10Pa条件下,乙炔流量的变化对放电电流的影响不大,有利于扩大DLC薄膜沉积的工艺窗口范围.以上研究结果为高端阀门小直径导向套等内壁DLC薄膜制备提供工艺基础.
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