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本文介绍了磁控溅射的原理以及磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜的实验方法.
用磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜
【摘 要】
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本文介绍了磁控溅射的原理以及磁控溅射法在柔性衬底上制备ZnO透明导电膜的实验方法.
【机 构】
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潍坊学院山东潍坊261061
【出 处】
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潍坊学院学报
【发表日期】
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2004年6期
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