【摘 要】
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采用湿化学方法对硅片背面抛光钝化,研究背腐蚀对单晶硅太阳电池工艺的影响.通过分析腐蚀后硅片表面形貌及电池电性能的变化,发现腐蚀降低了硅片表面粗糙度以及表面电子空穴
【机 构】
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英利能源(中国)有限公司,河北保定 071051保定天威英利新能源有限公司,河北保定 071051;
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采用湿化学方法对硅片背面抛光钝化,研究背腐蚀对单晶硅太阳电池工艺的影响.通过分析腐蚀后硅片表面形貌及电池电性能的变化,发现腐蚀降低了硅片表面粗糙度以及表面电子空穴复合速率;内量子效率中短波响应增强,开路电压和短路电流分别增加了2.1mV和26 mA.
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