【摘 要】
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本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设计灵活,为解决传感器的集成化、多功能化,实
【机 构】
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本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件,可用于测量流速、流向、温度,光学量等等,其工艺简单,性能优良,兼容性强,设计灵活,为解决传感器的集成化、多功能化,实现微机械加工技术提供了有效的途径。水文介绍了主要工作原理,给出了多晶硅桥制造的工艺条件,理论分析与实验结果一致。
In this study, the polysilicon bridge structure as a multi-functional sensor integrated sensor can be used to measure the flow rate, flow, temperature, optical quantity and so on, the process is simple, excellent performance, compatibility, design flexibility, to solve the sensor integration, Multi-functional, micro-machining technology to provide an effective way. Hydrology introduced the main working principle, given the polysilicon bridge manufacturing process conditions, the theoretical analysis and experimental results.
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