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简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准,并通过实例,对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述.
半导体超净厂房纯气系统及实例
【摘 要】
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简述半导体芯片制造中所用气体的纯度标准,并通过实例,对制备方法及流程、输送系统设计及特点、气体站设计以及参数的检测等进行了阐述.
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2002年2期
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