【摘 要】
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PCVD(等离子体辅助化学)小型实验室设备已有研制，但仅为直流等离子体电源。模具要求大型工业设备，须配备脉冲直流电源，而国内迄今尚未研制。国外仅日本和奥地利等国拥有此类工业
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PCVD(等离子体辅助化学)小型实验室设备已有研制，但仅为直流等离子体电源。模具要求大型工业设备，须配备脉冲直流电源，而国内迄今尚未研制。国外仅日本和奥地利等国拥有此类工业设备。西安交大等单位完成的这一项目，解决了脉冲直流PCVD制备硬质薄膜的若干理论和应用技术，突破了工业设备制造的电源瓶颈和工艺稳定性结构设计，打破了国外技术垄断，降低了设备成本。可应用于现代制造业，主要是机械零部件的成型和加工，如数控机床刀具、集成电路高速钻头、航空发动机叶片等，
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