【摘 要】
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一、引言随着近代科学技术的迅速发展,对零件机械加工精度的要求也越来越高。在精密加工的基础上,出现了0.1~0.01微米级的超精密加工技术。然而,高质鞋的微位移器是
I. INTR
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一、引言随着近代科学技术的迅速发展,对零件机械加工精度的要求也越来越高。在精密加工的基础上,出现了0.1~0.01微米级的超精密加工技术。然而,高质鞋的微位移器是
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