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光导开关用于产生高功率脉冲，提高光导开关的耐压能力可有效提高器件的输出功率。用SIL-VACO软件对共面和异面电极结构的GaAs光导开关进行了仿真分析，比较了两者的击穿电压，指出异面开关耐压性能优于共面开关。对设计制作的3mm间隙宽度的GaAs光导开关进行了耐压特性试验，并结合模拟结果进行分析。模拟结果和试验结果表明：和共面电极结构相比，异面结构的光导开关具有更高的耐压能力，击穿电场可达7．67kV／mm。