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叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求，简要说明了硅衬底微细加工的常用方法，并以高过载双向压力传感器和悬空结构热释电传感器的硅衬底微细加工为例，作了进一步说明，传感器性能的测试结果表明微机械加工对提高传感器性能的重要性。
硅基传感器的微机械加工
【摘 要】
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叙述了硅基传感器微机械加工的特点和要求，简要说明了硅衬底微细加工的常用方法，并以高过载双向压力传感器和悬空结构热释电传感器的硅衬底微细加工为例，作了进一步说明，传感器性
【机 构】
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江苏石油化工学院功能材料实验室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年4期
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