论文部分内容阅读
日前，中科院微电子所自主研发出超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗，清洗后颗粒明显减少，且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗，该方法不会对硅片造成损伤，同时可减少工艺步骤，节省时间，提高工作效率。
超临界二氧化碳清洗实现无损伤
【摘 要】
：
日前，中科院微电子所自主研发出超临界二氧化碳无损伤清洗设备。应用此设备对硅片进行清洗，清洗后颗粒明显减少，且平均粒径小于传统清洗的粒径。相对用等离子法清洗，该方法不会对
【出 处】
：
低温与特气
【发表日期】
：
2009年5期
其他文献
在充满激烈竞争的新时期，高校传统的体育人才培养模式已经不能适应社会的需求，大学生的就业压力也日益突出。采用调查法、文献法、材料分析法对我国体育专业培养模式出现的问题
近期硫酸铵市场仍在低位底部区域徘徊。硫酸铵目前出厂报价大多为450～550形t，高者在600～650元／t。从后市来看，硫酸铵市场面临一定的机遇，价格有望出现探底回升走势，市场交投的活跃程
在日前召开的2008年全国压力容器制造单位工作会议上，专家指出，市场环境和国家政策的有机结合，将为我国装备制造业提供一个良好的发展机遇。在化工行业推动结构调整和产业升级的
2008年年初，根据国家有关部门发布的“限塑”通知，确定从2008年6月1日起，在全国范围内禁止生产、销售、使用厚度小于0．025mm的超薄塑料购物袋，同时禁止超市、商场、集贸市场等零售
<正> 粮食商业包装物占粮油商品资金的百分之十左右。加强包装物管理,对于保证粮油商品流通的顺利进行,节约资金、降低费用、减少损失浪费,提高经济效益,都起着重要的作用。
<正> 近几年来,我国有的书籍和文章讲销售预测,多直接转介国外书上所写的预测方法。特别是运用数学方法进行销售预测(或谓之“定量预测”),讲抽象数学运算多,讲实际运用少。
Kokkugia是一个位于伦敦和纽约的国际性设计事务所，从事设计、研究、试验和教学。事务所的工作范围跨越的领域包括建筑，城市规划和工业设计。
1、重“纺”地域资源曾经以纺织工厂著称的西井车站西口地区，以“重“纺”地域资源”为主题，探寻“城市个性”“城市优势”“城市协调”“城市繁荣”等，轰轰烈烈的开展了城市的