切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
化学机械抛光技术研究进展
化学机械抛光技术研究进展
来源 :化工进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huahua_yang
【摘 要】
:
通过回顾化学机械抛光技术的发展历史,概述了化学机械抛光作用机制与实际应用情况,着重阐述了几种重要抛光浆料(如CeO2、SiO2、Al2O3抛光浆料)的优缺点、抛光机理及其国内外
【作 者】
:
宋晓岚
李宇煙
江楠
屈一新
邱冠周
【机 构】
:
中南大学资源加工与生物工程学院,北京化工大学化学工程学院
【出 处】
:
化工进展
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
化学机械抛光
抛光浆料
抛光机理
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过回顾化学机械抛光技术的发展历史,概述了化学机械抛光作用机制与实际应用情况,着重阐述了几种重要抛光浆料(如CeO2、SiO2、Al2O3抛光浆料)的优缺点、抛光机理及其国内外新近制备方法,进一步展望了化学机械抛光技术的发展前景与新型抛光浆料的开发方向.
其他文献
多层螺旋CT对颅底骨折诊断的应用价值
目的 探讨多层螺旋CT在颅底骨折诊断中的应用价值.方法 对62例颅底骨折患者行16层螺旋CT常规扫描后,再行薄层扫描,经工作站进行多平面重建(MPR)、容积再现法(VR)成像,并比较
期刊
颅底
骨折
体层摄影术
螺旋计算机
诊断
Skull base
Fractures
bone
Tomography
spiral computed
Diagno
血、尿免疫球蛋白轻链联合检测223例报告
目的 探讨检测血、尿轻链κ和λ含量及κ/λ比值在骨髓瘤(MM)肾病和原发性肾病综合征(NS)及慢性肾小球肾炎(CGN)肾损害鉴别诊断中的意义.方法 利用美国德灵公司特种蛋白分析
期刊
免疫球蛋白轻链
多发性骨髓瘤
肾病综合征
肾小球肾炎
重症监护室45例深部真菌感染菌种分类及药敏实验分析
近年来随着广谱抗菌药物的广泛应用、各种有创诊疗操作的深入开展,院内真菌感染发病率逐渐提高[1].因真菌感染病情凶险,病死率高,已引起临床医帅的高度重视.现对我院2006年6
期刊
重症监护室
深部真菌感染
药敏实验
HPLC法测定顽癣净中苯甲酸和水杨酸的含量
目的:建立顽癣净中苯甲酸和水杨酸的HPLC测定方法。方法:样品经提取后采用HPLC法测定。采用Hypersil ODS2色谱柱(200 mm×4.6 mm,10μm),流动相为甲醇-0.1%磷酸溶液(55∶45),
期刊
高效液相色谱法
顽癣净
苯甲酸
水杨酸
74例地震伤员的心理反应与护理支持
目的 探讨地震伤员的心理反应,为做好护理支持提供依据.方法 采用自制的地震伤员心理反应调查表,对74例年龄≥17岁的因地震灾难所致创伤性骨折的伤员进行问卷调查,内容包括心
期刊
地震
心理反应
护理
Earthquake
Psychological reaction
Nursing
187例严重多发性创伤患者的急救与护理
严重多发性创伤是指在同一患者身上,同时或相继遭受外力,如车祸、高处坠落、挤压撞击、爆炸、打架、刀刺等,引发多处解剖部位或脏器的严重损伤,如颅脑损伤合并胸部伤、下肢骨
期刊
多发性创伤
急救
护理
盐酸戊乙奎醚应用于小儿氯胺酮复合全凭静脉麻醉的临床研究
目的 评估盐酸戊乙奎醚替代阿托品作为术前用药在小儿氯胺酮复合全凭静脉麻醉中对心血管和腺体分泌等的影响.方法 40例3~10岁采用氯胺酮和丙泊酚复合全凭静脉麻醉患儿随机分为
期刊
麻醉
静脉
小儿
临床研究
盐酸戊乙奎醚
阿托品
Anesthesia
intravenous
Pediatrics
Clinical trial
Penehy
硼替佐米用于治疗非何杰金氏淋巴瘤的护理
目的 观察淋巴瘤患者使用硼替佐米药物后的不良反应,总结护理经验.方法 选择10例入组硼替佐米临床实验的患者,用药前给予个体化心理护理,用药后密切观察其不良反应,及时采取
期刊
硼替佐米
淋巴瘤
护理
肺血栓栓塞患者右心功能的临床研究
目的 利用彩色多普勒超声心动图观察肺血栓栓塞患者的右心功能. 方法 应用超声心动图观察31例肺血栓栓塞患者(研究组)右心室壁运动及右心室收缩整体功能,并计算其右心功能指
期刊
肺血栓栓塞
心脏超声
右心功能
Pulmonary thromboembolism
Echocardiography
Right ventricular fun
胃管延迟拔除对食管癌术后颈部吻合口瘘愈合的影响
目的 探讨延迟拔除胃管对经"颈、胸、腹"三切口手术治疗食管癌术后出现颈部吻合口瘘愈合的影响.方法 将220例经"颈、胸、腹"三切口手术治疗食管癌术后5 d内出现颈部吻合口瘘
期刊
插管法
胃肠
食管肿瘤/外科学
手术后并发症/预防和控制
瘘/病因学/预防和控制
与本文相关的学术论文