【摘 要】
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本文根据等离子各向异性刻蚀的基本原理,综述了铝薄膜在反应性等离子体中实现各向异性刻蚀需要注意的一些主要问题,从而有助于了解其刻蚀过程以获得良好的各向异性刻蚀特性。
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本文根据等离子各向异性刻蚀的基本原理,综述了铝薄膜在反应性等离子体中实现各向异性刻蚀需要注意的一些主要问题,从而有助于了解其刻蚀过程以获得良好的各向异性刻蚀特性。
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