关于半导体厂房Truss层压力的探讨

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以我国某新建的半导体芯片厂洁净室Truss层压力测试结果为例,利用在线监测和手持式仪表现场测试相结合的方法,来分析Truss层压力的变化的情况。测试发现核心生产区在符合设计规范的压力情况下[1],百级生产区相对应的Truss层为负压,而且负压值在30Pa左右;其他核心生产区域对应的Truss层也为微负压,负压值为10Pa左右,无法满足Truss层为微正压的技术要求。调试测试中发现,压力损失主要集中在局部阻力和沿程阻力,局部阻力主要是高架地板和DCC的压损;沿程阻力主要是下技术夹层至DCC之间以及过DCC后回风夹道至Truss层之间的压损。
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