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采用X射线衍射（XRD）、扫描电镜（SEM）及能谱（EDAx）等手段，研究了一种高Cr镍基单晶高温合金在1050℃的高温氧化行为。结果表明，氧化初期合金增重迅速，氧化增重不遵循抛物线规律，表面氧化膜出现剥落，氧化过程由形成Al2O3和Cr2O3所控制。高温氧化期间，合金发生明显的外氧化和内氧化，外氧化膜Cr2O3和（Ni，Co）Cr2O3组成，内氧化物为Al2O3在内氧化物上方出现贫Al富Ta区，元素贫化区尺寸随时间的延长而增大，富Ta相抑制基体中Al向外扩散，并抑制氧化膜生长。