干涉法测量膜厚技术现状

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介绍了几种测量膜厚的干涉测量方法,对各种测量方法进行了分类,分析了各种测量方法的特点及能达到的技术指标。 Several interferometric methods for measuring film thickness are introduced, and various measuring methods are classified. The characteristics of various measuring methods and the technical indexes that can be achieved are analyzed.
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