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本文首先介绍了原子力显微镜(AFM)的特点和影响光盘播放质量的主要参数,其次用AFM对光盘上记录信息用的凹坑深度、凹坑长度和侧壁角度等关键参数进行了测量,并对测量结果进行了分析.
用原子力显微镜测量光盘的凹坑形貌
【摘 要】
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本文首先介绍了原子力显微镜(AFM)的特点和影响光盘播放质量的主要参数,其次用AFM对光盘上记录信息用的凹坑深度、凹坑长度和侧壁角度等关键参数进行了测量,并对测量结果进行
【机 构】
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西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2004年3期
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