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硅杯腐蚀技术的研究
硅杯腐蚀技术的研究
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wqkabc0
【摘 要】
:
本文在大量实验的基础上,对微压传感器中硅杯形成的各向异性腐蚀技术的机理进行了详细分析,提出了几种切实可行的膜厚控制方法与正面图形的保护方法.对实验结果进行了分析与
【作 者】
:
沈桂芬
张九惠
【机 构】
:
辽宁大学物理系,辽宁大学物理系
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
1993年2期
【关键词】
:
硅杯
腐蚀
微压传感器
Si-cup anisotropical etch film thickness
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本文在大量实验的基础上,对微压传感器中硅杯形成的各向异性腐蚀技术的机理进行了详细分析,提出了几种切实可行的膜厚控制方法与正面图形的保护方法.对实验结果进行了分析与讨论,提出有价值的结论.更多还原
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