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气体屏蔽过滤器杉浦博文１半导体制造业用气的过滤器近年来，在半导体行业的高纯气供给系统中，气体过滤器是除粒子、水份及有机物必不可少的装置。但由于安装了气体过滤器，其滤芯自身磨粒清落引起粒子增加、过滤器材质脱气、或腐蚀性气体对过滤器材质的腐蚀、压差等会产...
气体屏蔽过滤器
【摘 要】
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气体屏蔽过滤器杉浦博文１半导体制造业用气的过滤器近年来，在半导体行业的高纯气供给系统中，气体过滤器是除粒子、水份及有机物必不可少的装置。但由于安装了气体过滤器，其滤芯自
【出 处】
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低温与特气
【发表日期】
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1994年4期
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