【摘 要】
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制作了硅衬底SnO_2薄膜气体传感器用于监测麻醉剂,如forane,安氟醚,氟烷和乙醚.这些都是医院手术室常用的.SnO_2敏感膜通过旋涂溶于二甲笨中的Sn(Ⅱ)—二乙酸乙酯然后热处理
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制作了硅衬底SnO_2薄膜气体传感器用于监测麻醉剂,如forane,安氟醚,氟烷和乙醚.这些都是医院手术室常用的.SnO_2敏感膜通过旋涂溶于二甲笨中的Sn(Ⅱ)—二乙酸乙酯然后热处理来沉积在硅上.硅膜上有一个扩散电阻加热器和一个用作温度敏感和控制的P—
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