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X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究
X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究
来源 :制造技术与机床 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wuhuwuyang
【摘 要】
:
在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后,将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法,并且通过实验验证了该方法的有效性。
【作 者】
:
丁海峰
路长厚
【机 构】
:
山东大学机械工程学院
【出 处】
:
制造技术与机床
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
X-Y工作台
精密长光栅
激光测振仪OFV-5000
定位误差
动态测量
X - Y Table
Precise Length Grating
Lase
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在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后,将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法,并且通过实验验证了该方法的有效性。
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