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在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后，将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法，并且通过实验验证了该方法的有效性。
X-Y工作台定位误差动态测量与补偿的研究
【摘 要】
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在详细论述了精密长光栅与激光测振仪OFV-5000的测量原理和方法之后，将二者结合设计了一种X-Y工作台定位误差的动态测量与补偿方法，并且通过实验验证了该方法的有效性。
【机 构】
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山东大学机械工程学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2007年4期
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