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多孔硅基发光二极管和光探测器
多孔硅基发光二极管和光探测器
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:opou
【摘 要】
:
本文评述了最新制备出的几种多孔硅基发光二极管和高灵敏度光探测器的制备,结构和性能,分析了在这些器件制备中所存在的一些问题,讨论了解决这些问题的可能途径。
【作 者】
:
杨国伟
【机 构】
:
湘潭大学物理系
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
发光二极管
光探测器
硅基
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本文评述了最新制备出的几种多孔硅基发光二极管和高灵敏度光探测器的制备,结构和性能,分析了在这些器件制备中所存在的一些问题,讨论了解决这些问题的可能途径。
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