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以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可以达到磁偏转相似的像差水平.
电子束曝光机静电偏转系统
【摘 要】
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以静电极板为电子束曝光机偏转负载,用双通道扫描原理进行扫描,并使用计算机辅助设计研究电子束曝光机聚焦偏转系统的结构.由SDS-3电子束曝光机试验结果表明,复合静电偏转可
【机 构】
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山东大学机械工程学院,山东大学电子束研究室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
：
2003年3期
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