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研究了M2钢表面TiN涂层的组织结构和性能。这种涂层是通过真空沉 积Ti原子和注入N离子交替进行的离子束混合技术实现的。每次沉积Ti原 子厚度1000~4000A,注入N离子能量60和90keV,剂量2×1017~8×1017 N+/cm2.分析讨论了改性层的相组成及其强化机制。结果表明,在适宜工艺 下,改性层具有高硬度、高耐磨性和优良的结合力。