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本文采用微波等离子体化学气相沉积（ＭＰＣＶＤ）法，用高纯敢（９９．９９９％）和甲烷（９９．９％）作反应气体，在单晶硅多晶铂基片上沉积β－Ｃ３Ｎ４薄膜。Ｘ射线能谱（ＥＤＸ）分析了这种晶态Ｃ＝Ｎ膜的化学成分，对不同样品的分析结果表明，Ｎ／Ｃ原子比在１．１－２．０范围内，Ｘ射线衍射结构分析结果与计算的α－和β－Ｃ３Ｎ４单相Ｘ射线的峰位和强度相比较，说明它共价键的存在。薄膜的体弹性模量达到３４９ＧＰＡ。