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本文采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法,用高纯敢(99.999%)和甲烷(99.9%)作反应气体,在单晶硅多晶铂基片上沉积β-C3N4薄膜。X射线能谱(EDX)分析了这种晶态C=N膜的化学成分,对不同样品的分析结果表明,N/C原子比在1.1-2.0范围内,X射线衍射结构分析结果与计算的α-和β-C3N4单相X射线的峰位和强度相比较,说明它共价键的存在。薄膜的体弹性模量达到349GPA。