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从模拟和实验两方面研究了SiGe/Si BHT发射结中pn结界面和SiGe/Si界面的相对位置对电流增益和频率特性的影响,发现两界面偏离时器件性能会变差,尤其是当pn结位于SiGe/Si界面之前仅几十A就足以产生相当高的电子寄生势垒,严重恶化器件的性能,据此分析了基区B杂质的偏析和外扩对器件的影响以及SiGe/Si隔离层的作用。