【摘 要】
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介绍了一种基于锥镜 (axicon)的非接触光学位移测量的新方法 ,可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大 ,分辨率高 (最小可至 0 .1μm)。另外 ,该方法可允许
【机 构】
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介绍了一种基于锥镜 (axicon)的非接触光学位移测量的新方法 ,可用于精密表面和超精密表面的位移测量。其特点是量程较大 ,分辨率高 (最小可至 0 .1μm)。另外 ,该方法可允许被测表面有小角度的倾斜 ,且不受测头与被测表面之间的孔径光阑的影响 ,是一种可用于在线光学测量的方法。
A new method of non-contact optical displacement measurement based on axicon is introduced, which can be used to measure the displacement of precision surface and ultra-precision surface. It is characterized by a large range, high resolution (as small as 0 .1μm). In addition, this method allows the surface to be measured with a small angle of tilt and is not influenced by the aperture stop between the probe and the surface under test. This is a method that can be used for online optical measurements.
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