单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系

来源 :郑州纺织工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:edison_young
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分析了气相同质外延单晶金刚石膜中晶面指数与薄膜品质的关系,指出了控制实验条件是确保各晶面薄膜品质的关键.
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