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随着电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，对精密机械的精度要求越来越高，要求精密机械和检测设备具有亚微米甚至纳米精度。使微位移技术得到迅速发展，主要介绍了电致伸缩微位移器的原理和应用。
电致伸缩微位移器在机床刀具微进给系统的应用
【摘 要】
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随着电子技术、宇航、生物工程等学科的发展，对精密机械的精度要求越来越高，要求精密机械和检测设备具有亚微米甚至纳米精度。使微位移技术得到迅速发展，主要介绍了电致伸缩微位
【机 构】
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天水星火机床有限责任公司技术中心
【出 处】
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机械研究与应用
【发表日期】
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2007年4期
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