【摘 要】
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通过改变甲烷浓度、热丝功率、热丝丝距以及沉积时间等参数,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,在β-碳化硅(β-SiC)粉末上沉积了一层纳米金刚石(ND)涂层,制备了ND@SiC复合粉
【机 构】
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河南工业大学材料科学与工程学院,中国科学院宁波材料技术与工程研究所
【基金项目】
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宁波市“科技创新2025”重大专项(2018B10046),国家重点研发计划(2017YFE0128600),宁波市“3315计划”(2019A-18-C),国防重点实验室基金(6142807180511,6142905192806),河南省科技攻关项目(192102210244)
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通过改变甲烷浓度、热丝功率、热丝丝距以及沉积时间等参数,利用热丝化学气相沉积(HFCVD)工艺,在β-碳化硅(β-SiC)粉末上沉积了一层纳米金刚石(ND)涂层,制备了ND@SiC复合粉末导热填料,并利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、透射电子显微镜以及热重分析等,对所得填料进行了表征。结果表明,SiC粉末表面涂覆了一层纳米金刚石涂层,形成了ND@SiC结构;当沉积参数为甲烷浓度5%、热丝功率4×1000 W、热丝丝距8 mm,沉积时间2×3 h时,制备的ND@SiC复合粉末具有理想的显微结
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