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有机电致发光显示器件有望成为替代液晶的下一代平板显示器件和环境保护(环保，下同)型的光源，目前正对此进行积极的研究。由于有机电致发光器件要在ITO电极上沉积多层结构的有机层。所以可推测电极表面形状对发光特性和电气性能是有影响的。在本研究中，除用AFM图象观察用真空沉积和溅射法制成的ITO电极的表面形状，以及测量元件的分布和晶体结构外，同时还制备了电致发光器件。并测量了其电气特性。