【摘 要】
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扫描隧道显微镜和原子力显微镜由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理，化学，生物等领域得到越来越广泛的应用。但是，他们在工作上不能彼此兼容，为此，研制了一台新仪器既可用ＳＴＭ，又可
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扫描隧道显微镜和原子力显微镜由于具有原子量级的分辨率，所以在表面物理，化学，生物等领域得到越来越广泛的应用。但是，他们在工作上不能彼此兼容，为此，研制了一台新仪器既可用ＳＴＭ，又可作为ＡＦＭ。本文介绍了该仪器的反馈控制系统及其设计。实验表明，这套反馈系统工作稳定可靠，它使仪器至少可达到纳米量级的分辨率。
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