【摘 要】
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为“大范围纳米结构测量系统”研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转。原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差。在50 mm×50 mm×2 mm的测量全程
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,中国计量科学研究院
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为“大范围纳米结构测量系统”研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转。原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差。在50 mm×50 mm×2 mm的测量全程内,测头与样品的相对位移可以由激光干涉仪直接读数,因此可溯源到米定义国家基准。激光波长由Elden公式计算修正。使用德国物理技术研究院（PTB）提供的台阶高度样板一套,所得测量结果与PTB测量结果进行比对,结论为：测量系统的测量重复性不大于0.82 nm;比对系数En≤1,验证了测量结果是准确的,测量不确定度评定是合理、
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