台阶高度样板相关论文
为“大范围纳米结构测量系统”研制的计量型原子力测头,采用光束偏转法检测探针悬臂偏转。原子力测头的布置在X、Y方向无阿贝误差......
建立了具有立体光路的光束偏转法原子力测头的模型,给出测头的放大能力,证明光路不会对光束偏转法的分辨力造成影响.分析了光路特性,说......