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碳氮膜的研究进展
碳氮膜的研究进展
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wxiaof
【摘 要】
:
简要回顾了碳氮膜的发展历史,综述了碳氮膜研究的最新进展,并对这类膜的发展前景进行了展望。
【作 者】
:
刘祖琴
晁晟
【机 构】
:
兰州大学材料科学系,730000
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
碳氮膜
氢致碳氮膜
碳氮含量比
超硬材料
Carbon Nitide Films Hydrogenated Carbon Nitride Films Compo
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简要回顾了碳氮膜的发展历史,综述了碳氮膜研究的最新进展,并对这类膜的发展前景进行了展望。
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