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2013年10月12日,为了推动我国科学仪器与设备技术自主创新研发与应用,浙江中科院应用技术研究院和嘉兴科民电子设备有限公司联合资助成立科民公益基金,成立仪式在浙江中科院应用技术研究院嘉兴微电子仪器与设备工程中心圆满召开。新华社、中央电视台、人民日报、光明日报、经济日报、科技日报、中国科技报、中国青年报、嘹望周刊等多家主流媒体在“走进中科院”系列活动中对嘉兴中心及该公益基金进行报道。该基金目前主要资助国内高级研究人员全程免费进行ALD应用研究及其他公益科技活动。