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本文报道了120 keV B~+和170keV N~+注入聚酰亚胺(polyimide)所得改性层的精细结构.Raman光谱的分析结果表明,聚酰亚胺改性层中的碳主要以石墨和无定形两种形态存在,而它们的相对含量以及石墨微粒的大小要取决于剂量、束流强度及靶温等注入参数.本文报道的十几种离子改性聚酰亚胺中的石墨微粒尺度为20-50(?).我们还用RBS分析了改性过程中改性层化学组分的变化,这同XPS对于改性过程中各种官能团演化的研究结合在一起,支持了Raman光谱关于改性层微观结构的结论.此外我们还研究了电阻随