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金属型场发射阵列的研究
金属型场发射阵列的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aiminis
【摘 要】
:
讨论了Spindt方法制作金属型FEA工艺过程中的技术难点和相应的解决方案,最后成功地研制出场发射阵列,并实现了场发射。
【作 者】
:
李德杰
王邦江
【机 构】
:
清华大学电子工程系
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
场致发射
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讨论了Spindt方法制作金属型FEA工艺过程中的技术难点和相应的解决方案,最后成功地研制出场发射阵列,并实现了场发射。
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