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在电子元器件制造中经常需要电镀铜，而且还有些特殊的要求，例如半导体晶片表面电镀铜时，要求微粒的粘附率要低。要保证微粒的粘附率低的一个关键措施是避免阳极泥渣的形成，从而防止泥渣微粒粘附在电镀铜的半导体晶片上。
一种特殊用途的铜阳极
【摘 要】
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在电子元器件制造中经常需要电镀铜，而且还有些特殊的要求，例如半导体晶片表面电镀铜时，要求微粒的粘附率要低。要保证微粒的粘附率低的一个关键措施是避免阳极泥渣的形成，从而防
【出 处】
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电镀与精饰
【发表日期】
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2012年11期
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